Поиск:
Войти
Книги автора: Михаил Александрович Королев
Сортировка
- сначала новые
- сначала новые
- по рейтингу
- по просмотрам
- по названию
Добавлено
Год выхода: 2014
Язык: Русский
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на осн…
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах.
Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов, а также специалистов.
1
Популярные книги